北京青年報記者獲悉，中關(guān)村科學(xué)城企業(yè)——北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責任公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中科飛龍”）自主研發(fā)的高性能MEMS（微機電系統）電場(chǎng)傳感器，突破了設計、制造、封裝測試及可靠性等多項關(guān)鍵技術(shù)，發(fā)明了國際最高分辨力的MEMS電場(chǎng)敏感芯片，并在國際上首次實(shí)現了MEMS電場(chǎng)傳感器的落地應用。
中科飛龍于2015年底注冊成立，是一家從事高端傳感器系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的國家高新技術(shù)企業(yè)，總部位于海淀區中關(guān)村科學(xué)城四季科創(chuàng )中心。在中科飛龍展示大廳里，北青報記者看到了長(cháng)、寬僅有5毫米的MEMS電場(chǎng)敏感芯片。據中科飛龍聯(lián)合創(chuàng )始人、總工程師楊鵬飛介紹，這枚芯片在航空航天、國防、雷電預警、安全生產(chǎn)、智慧電網(wǎng)、石油石化、風(fēng)力發(fā)電等領(lǐng)域發(fā)揮著(zhù)關(guān)鍵作用。
“當前廣泛使用的非侵入式靜電壓傳感器，其核心敏感元件嚴重依賴(lài)國外進(jìn)口。高性能MEMS電場(chǎng)敏感芯片與非侵入式靜電壓傳感器的核心敏感元件功能類(lèi)似，有望實(shí)現靜電探測核心敏感元件的國產(chǎn)化替代?！睏铢i飛說(shuō)。
據介紹，基于MEMS電場(chǎng)敏感芯片研發(fā)的大氣電場(chǎng)儀及氣象雷電預警系統已在房山、順義等區的部分大型油庫里落地應用。預警系統通過(guò)測量大氣電場(chǎng)強度、獲取閃電定位等信息，精準預測未來(lái)兩小時(shí)內油庫所在區域是否會(huì )發(fā)生雷電，為安全生產(chǎn)提供技術(shù)支撐。
此外，高性能MEMS電場(chǎng)敏感芯片還在高空電場(chǎng)探測、石油化工靜電檢測、電子信息制造、火工品生產(chǎn)等多個(gè)場(chǎng)景開(kāi)展了實(shí)際應用。中科飛龍開(kāi)發(fā)出了MEMS大氣電場(chǎng)儀、MEMS高空電場(chǎng)傳感器、MEMS靜電傳感器、MEMS油面電位計等系列化產(chǎn)品。
楊鵬飛表示，中科飛龍正在全力開(kāi)發(fā)基于高性能MEMS電場(chǎng)敏感芯片的“硬壓板狀態(tài)監測傳感器”及配套系統，今后有望在電網(wǎng)繼電保護裝備中實(shí)現規?；瘧?。此外，中科飛龍今年布局研發(fā)的高精度氣壓傳感器，未來(lái)將在本市機場(chǎng)航空領(lǐng)域落地應用，實(shí)現關(guān)鍵核心技術(shù)的國產(chǎn)化替代。
文/北京青年報記者 王斌
編輯/高艷
